洁净厂房竣工验收时，应认真检查竣工验收的资料，一般包括下列文件及记录：
（1）图纸会审记录、设计变更通知书和竣工图；
（2）各分部工程的主要设备、材料和仪器仪表的出厂合格证明及进场检验报告；
（3）各分部工程的单机设备、系统安装及检验记录；
（4）各分部单机试运转记录；
（5）各分部工程、系统无负荷试运转与调试记录；
（6）各类管线试验、检查记录；
（7）各分部工程的安全设施的检验和调试记录；
（8）各分部工程的质量验收记录。
洁净室设计参数：
●换气次数：
十万级10－15次/小时；
万级15－25次/小时；
千级50－52次/小时；
百级操作台断面风速0.25-0.35m/s
●压差：主车间对相邻房间≥5Pa。
●温度：冬季＞16℃±2℃；夏季＜26℃±2℃；
●相对湿度：45－65％（RH）；噪声≤65dB（A）；新风补充量：总送风量的20％－30％；
●照度：≥300Lux。
洁净室内的架空地板是用来掩盖工具、设备与动力设备之间的电线、通讯电缆、水电、管道的连接的。后来，为了节约成本，在“bay-and-chase”式的洁净室结构中，这些架空地板被当作从港湾到夹层的回内通道。在完全单向气流的洁净室内，人们希望微粒从工作区域流到带小孔的地板下。我们已经成功的建立了10级和100级的洁净室，在这些洁净室内没有架空地板，采用墙下部回风系统，而且洁净室的气流被设计成紊流。另个一种办法是用薄的空气喷射装置隔离超清洁区域，这种空气喷射的速度是每分钟500到800英尺。它的功能类似于塑料门帘。
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